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封頭瓷拋光機(jī)的機(jī)械設(shè)計(jì)
封頭拋光機(jī)新型陶瓷作為一種新的機(jī)械工程材料，越來(lái)越被人們所重視。封頭拋光機(jī)新型陶瓷分為功能陶瓷和工程陶瓷兩大類。功能陶瓷是作為功能材料使用的，利用的是電磁性能、光學(xué)性能、化學(xué)性能和生物學(xué)性能等。工程陶瓷是作為結(jié)構(gòu)材料使用的，利用的是熱性能、機(jī)械性能和化學(xué)性能，因而也稱為結(jié)構(gòu)陶瓷。現(xiàn)在，工程陶瓷已經(jīng)在能源技術(shù)、機(jī)械制造、汽車工業(yè)、石油化工、冶金工業(yè)、宇航工業(yè)、海洋技術(shù)開(kāi)發(fā)和生物醫(yī)療等領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用[1]。然而，在對(duì)陶瓷材料進(jìn)行研磨拋光時(shí)，由于工藝的穩(wěn)定性不足，容易造成工件表面的劃傷，甚至造成工件破損。為此，需要一種加載穩(wěn)定均勻的封頭拋光機(jī)，以改善拋光工藝，進(jìn)一步提高加工質(zhì)量。
國(guó)內(nèi)傳統(tǒng)的雙面封頭拋光機(jī)結(jié)構(gòu)一般采用單電動(dòng)機(jī)通過(guò)齒輪傳動(dòng)使上下拋光盤、中心輪及齒圈運(yùn)動(dòng)。這類研磨封頭拋光機(jī)重心低、性能穩(wěn)定、結(jié)構(gòu)緊湊、操作簡(jiǎn)單、安全可靠，并且由于采用行星式運(yùn)動(dòng)，球磨效率高、粒度細(xì)，因此常用于超精密研磨拋光[2-4]。然而該研磨封頭拋光機(jī)在機(jī)械結(jié)構(gòu)上還存在一些不足：控制系統(tǒng)不完善，只能簡(jiǎn)單地手動(dòng)控制或半自動(dòng)控制；單立柱結(jié)構(gòu)，剛性相對(duì)較差，加工精度達(dá)不到晶片的加工要求等。
